基体负偏压对四面体非晶碳膜结构和性能的影响

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中国表面工程 ›› 2010, Vol. 23 ›› Issue (4) : 48-51.

表面工程

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Effect of Substrate Bias on Structure and Properties of Ta–C Films

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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