高功率脉冲磁控溅射仿真技术研究进展∗

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

崔岁寒，郭宇翔，陈秋皓，吴忠振

Research Progress of Simulation Technique on High Power Impulse Magnetron Sputtering

CUI Suihan, GUO Yuxiang, CHEN Qiuhao, WU Zhongzhen

中国表面工程 . 2022, (5): 23 -41 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211226003

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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