高功率脉冲磁控溅射仿真技术研究进展∗

崔岁寒，郭宇翔，陈秋皓，吴忠振

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 23-41.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 23-41. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211226003

高功率脉冲磁控溅射仿真技术研究进展∗

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Research Progress of Simulation Technique on High Power Impulse Magnetron Sputtering

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