高能脉冲磁控溅射低温制备晶态薄膜的研究进展

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

白雪冰，蔡群，张旭海

Research Progress of Crystalline Thin Films by High Power Impulse Magnetron Sputtering at a Low Temperature

BAI Xuebing, CAI Qun, ZHANG Xuhai

中国表面工程 . 2022, (5): 105 -115 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211213002

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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