高能脉冲磁控溅射低温制备晶态薄膜的研究进展

白雪冰，蔡群，张旭海

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 105-115.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 105-115. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211213002

高能脉冲磁控溅射低温制备晶态薄膜的研究进展

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Research Progress of Crystalline Thin Films by High Power Impulse Magnetron Sputtering at a Low Temperature

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