高离化磁控溅射技术及其工业应用*
马旻昱，刘亮亮，李体军，李熙腾，崔岁寒，吴忠振
High Ionization Magnetron Sputtering Technology and Industry Applications
MA Minyu, LIU Liangliang, LI Tijun, LI Xiteng, CUI Suihan, WU Zhongzhen
中国表面工程
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2022, (5): 116
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211230005
