高离化磁控溅射技术及其工业应用*

马旻昱，刘亮亮，李体军，李熙腾，崔岁寒，吴忠振

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 116-144.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 116-144. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20211230005

高离化磁控溅射技术及其工业应用*

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High Ionization Magnetron Sputtering Technology and Industry Applications

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