占空比对中频磁控溅射（Al,Ti）N周期性多层膜组织与性能的影响
孙丽丽1， 杨会生2， 成浩1， 汪爱英1
Structure and Mechanical Performance of （Al,Ti）N Periodical Multilayer Films Deposited by MF Magnetron Sputtering
SUN Li–li1, YANG Hui–sheng2, CHENG Hao1, WANG Ai–ying1
中国表面工程
.
2011, (6): 47
-52
.
