占空比对中频磁控溅射（Al,Ti）N周期性多层膜组织与性能的影响

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中国表面工程 ›› 2011, Vol. 24 ›› Issue (6) : 47-52.

表面工程

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Structure and Mechanical Performance of （Al,Ti）N Periodical Multilayer Films Deposited by MF Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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