SiC靶功率密度对无氢掺硅类金刚石薄膜摩擦学性能的影响
张贺勇1,2， 代明江2， 胡芳2， 韦春贝2， 林松盛2， 侯惠君2
Effect of SiC Target Power Density on Tribological Properties of Nonhydrogenated Silicon Doped Diamondlike Carbon Film
ZHANG He-yong1,2, DAI Ming-jiang2, HU Fang2, WEI Cun-bei2, LIN Song-sheng2, HOU Hui-jun2
中国表面工程
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2012, (2): 37
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