SiC靶功率密度对无氢掺硅类金刚石薄膜摩擦学性能的影响

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中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (2) : 37-42.

表面工程

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Effect of SiC Target Power Density on Tribological Properties of Nonhydrogenated Silicon Doped Diamondlike Carbon Film

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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