HiPIMS制备TiB<sub>2</sub>、TiBN涂层及其等离子体性质

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

吴正涛，叶榕礼，李海庆，王启民

Fabrication and Plasma Properties of TiB2, TiBN Films by HiPIMS

WU Zhengtao, YE Rongli, LI Haiqing, WANG Qimin

中国表面工程 . 2022, (5): 228 -235 . DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220114001

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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