HiPIMS制备TiB<sub>2</sub>、TiBN涂层及其等离子体性质

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20220114001

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 228-235. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220114001

HiPIMS制备TiB₂、TiBN涂层及其等离子体性质

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Fabrication and Plasma Properties of TiB2, TiBN Films by HiPIMS

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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