高功率脉冲磁控溅射沉积原理与工艺研究进展*

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

吴志立, 朱小鹏, 雷明凯

Progress in Deposition Principle and Process Characteristics of High Power Pulse Magnetron Sputtering

WU Zhili, ZHU Xiaopeng, LEI Mingkai

中国表面工程 . 2012, (5): 15 -20 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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