高功率脉冲磁控溅射沉积原理与工艺研究进展*

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中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (5) : 15-20.

摩擦学

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Progress in Deposition Principle and Process Characteristics of High Power Pulse Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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