含氢掺硅类金刚石薄膜的制备及性能表征

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

胡芳,代明江,林松盛,罗顺,侯惠君,石倩,韦春贝

Preparation and Characterization of Hydrogen Containing Sidoped DLC Film

HU Fang, DAI Ming-jiang, LIN Song-sheng, LUO Shun, HOU Hui-jun, SHI Qian, WEI Chun-bei

中国表面工程 . 2012, (6): 47 -52 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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