含氢掺硅类金刚石薄膜的制备及性能表征

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中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (6) : 47-52.

表面工程

含氢掺硅类金刚石薄膜的制备及性能表征

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Preparation and Characterization of Hydrogen Containing Sidoped DLC Film

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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