直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

王翠凤¹,邱锡荣²,赵乙璇²,欧耿良³

Preparation of AZO Thin Films on PET Substrate Using DC Magnetron Sputtering

WANG Cui-feng¹, CHIOU Shi-yung²， JHAO Yi-syuan²， OU Keng-liang³

中国表面工程 . 2012, (6): 53 -60 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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