直流磁控溅射法在PET基板上制备AZO薄膜

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中国表面工程 ›› 2012, Vol. 25 ›› Issue (6) : 53-60.

表面工程

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Preparation of AZO Thin Films on PET Substrate Using DC Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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