直流磁控溅射制备二氧化硅薄膜及其性能

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

张剑，陈文革

Properties of the Silicon Dioxide Films Fabricated by DC Reactive Magnetron Sputtering

ZHANG Jian, CHEN Wen-ge

中国表面工程 . 2013, (1): 34 -39 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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