靶基距对脉冲激光沉积CNx薄膜微结构和摩擦学性能的影响
宋建强1， 郑晓华1， 杨芳儿1， 陈乐生2， 郑晋翔1， 沈涛1
Effects of Target to Substrate Distance on Microstructure and Tribological Properties of Pulsed Laser Deposited CNx Films
SONG Jian-qiang1, ZHENG Xiao-hua1, YANG Fang-er1, CHEN Le-sheng2, ZHENG Jin-xiang1, SHEN Tao1
中国表面工程
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2013, (1): 63
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