靶基距对脉冲激光沉积CN<sub>x</sub>薄膜微结构和摩擦学性能的影响

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (1) : 63-68.

靶基距对脉冲激光沉积CN_x薄膜微结构和摩擦学性能的影响

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Effects of Target to Substrate Distance on Microstructure and Tribological Properties of Pulsed Laser Deposited CN_x Films

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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