磁控溅射法制备TiN/TiO2周期薄膜

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

刘莹，胡云龙

TiN/TiO₂ Periodic Films Prepared by Magnetron Sputtering

LIU Ying, HU Yun-long

中国表面工程 . 2013, (2): 56 -60 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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