磁控溅射法制备TiN/TiO<sub>2</sub>周期薄膜

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (2) : 56-60.

表面工程

磁控溅射法制备TiN/TiO₂周期薄膜

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TiN/TiO₂ Periodic Films Prepared by Magnetron Sputtering

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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