咪唑对钌化学机械抛光的影响

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

王婕，储向峰，董永平，孙文起，叶明富，白林山

Effect of Imidazole on the Chemical Mechanical Planarization of Ruthenium

WANG Jie, CHU Xiang-feng, DONG Yong-ping, SUN Wen-qi, YE Ming-fu, BAI Lin-shan

中国表面工程 . 2013, (3): 25 -30 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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