咪唑对钌化学机械抛光的影响

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (3) : 25-30.

表面工程

咪唑对钌化学机械抛光的影响

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Effect of Imidazole on the Chemical Mechanical Planarization of Ruthenium

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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