PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜

主管单位：中国科学技术协会
主办单位：中国机械工程学会
编委会主任：薛群基院士
主　　编：邵天敏教授
创　　刊：1988年
刊　　期：双月刊

曹忠跃^1,2，张斌¹，魏利^1,2，张俊彦¹

Preparation of Hydrogenated Carbon Film with Hexagonal Diamond Structure by PECVD

CAO Zhong-yue^1,2, ZHANG Bin¹, WEI Li^1,2, ZHANG Jun-yan¹

中国表面工程 . 2013, (4): 55 -59 .

ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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