PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (4) : 55-59.

表面工程

PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜

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Preparation of Hydrogenated Carbon Film with Hexagonal Diamond Structure by PECVD

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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