PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜

曹忠跃1,2， 张斌1， 魏利1,2， 张俊彦1

中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (4) : 55-59.

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表面工程

PECVD制备六方金刚石结构碳氢薄膜

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Preparation of Hydrogenated Carbon Film with Hexagonal Diamond Structure by PECVD

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