气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响
苏永要， 赵黎宁， 王锦标， 涂铭旌， 李雪源， 杨文茂
Effects of Gas Pressure on Microstructure and Properties of Diamondlike Carbon Films
SU Yongyao, ZHAO Lining, WANG Jinbiao, TU Mingjing, LI Xueyuan, YANG Wenmao
中国表面工程
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2013, (5): 31
-36
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DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.006
