气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响

苏永要， 赵黎宁， 王锦标， 涂铭旌， 李雪源， 杨文茂

中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (5) : 31-36.

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (5) : 31-36. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.006
表面工程

气体压强对DLC薄膜微观结构及性能的影响

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Effects of Gas Pressure on Microstructure and Properties of Diamondlike Carbon Films

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