氧等离子处理对多孔硅表面润湿性的影响
姜磊， 李兆敏， 杨丽敏， 李松岩， 孙乾， 张东， 王继乾
Effects of Oxygen Plasma on Surface Wettability of Porous Silicon
JIANG Lei, LI Zhaomin, YANG Limin, LI Songyan, SUN Qian, ZHANG Dong, WANG Jiqian
中国表面工程
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2013, (5): 43
-48
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DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.008
