氧等离子处理对多孔硅表面润湿性的影响

姜磊， 李兆敏， 杨丽敏， 李松岩， 孙乾， 张东， 王继乾

中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (5) : 43-48.

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中国表面工程 ›› 2013, Vol. 26 ›› Issue (5) : 43-48. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2013.05.008
表面工程

氧等离子处理对多孔硅表面润湿性的影响

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Effects of Oxygen Plasma on Surface Wettability of Porous Silicon

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