沉积时间对钼薄膜结构和热疲劳性能的影响
朱晓岗， 王波， 张丽霞， 于敦波， 杨远飞
Influence of Deposition Time on Structure and Thermal Fatigue Property of Molybdenum Film
ZHU Xiaogang, WANG Bo, ZHANG Lixia, YU Dunbo, YANG Yuanfei
中国表面工程
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2014, (3): 10
-14
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DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.03.002
