沉积时间对钼薄膜结构和热疲劳性能的影响

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.03.002

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (3) : 10-14. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.03.002

表面工程

沉积时间对钼薄膜结构和热疲劳性能的影响

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Influence of Deposition Time on Structure and Thermal Fatigue Property of Molybdenum Film

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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