粗糙度和尖峰高度对粗糙铜晶圆表面化学反应动力学参数的影响
李炎， 刘玉岭， 牛新环， 王傲尘， 李洪波
Effects of Roughness and Peak Heights on the Chemical Reaction Kinetics Parameters of Rough Copper Wafer Surface
LI Yan, LIU Yuling, NIU Xinhuan, WANG Aochen, LI Hongbo
中国表面工程
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2014, (4): 58
-63
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DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.04.009
