复合离子束制备氮化物多层膜的抗冲蚀性能
金杰1， 王丽叶1， 黄晓林1， 孟祥宇1， 陈蕴博2， 高克玮3
Erosion Resistance Performance of Different Nitride Films Deposited by Composite Ion Beam
JIN Jie1, WANG Liye1, HUANG Xiaolin1, MENG Xiangyu1, CHEN Yunbo2, GAO Kewei3
中国表面工程
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2014, (5): 32
-38
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DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.003
