复合离子束制备氮化物多层膜的抗冲蚀性能

doi:10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.003

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中国表面工程 ›› 2014, Vol. 27 ›› Issue (5) : 32-38. DOI: 10.3969/j.issn.1007-9289.2014.05.003

第十届全国表面工程大会论文

复合离子束制备氮化物多层膜的抗冲蚀性能

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Erosion Resistance Performance of Different Nitride Films Deposited by Composite Ion Beam

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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