外延硅片表面时间雾的形成及其机理
李慎重，梁兴勃，田达晰，马向阳，杨德仁
Formation of Time-dependent Haze on the Surface of Epitaxial Silicon Wafers and Its Mechanism
LI Shenzhong, LIANG Xingbo, TIAN Daxi, MA Xiangyang, YANG Deren
中国表面工程
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2022, (6): 266
-273
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220505002
