轴向磁场对电弧离子镀TiN薄膜组织结构及力学性能的影响
赵彦辉a， 郭朝乾b， 杨文进b， 陈育秋b， 肖金泉b， 于宝海a
Effects of Axial Magnetic Field on Microstructure and Mechanical Properties of TiN Films Deposited by Arc Ion Plating
ZHAO Yanhuia, GUO Chaoqianb, YANG Wenjinb, CHEN Yuqiub, XIAO Jinquanb, YU Baohaia
中国表面工程
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2015, (1): 56
-61
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DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.009
