轴向磁场对电弧离子镀TiN薄膜组织结构及力学性能的影响

赵彦辉a， 郭朝乾b， 杨文进b， 陈育秋b， 肖金泉b， 于宝海a

中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (1) : 56-61.

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中国表面工程 ›› 2015, Vol. 28 ›› Issue (1) : 56-61. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.2015.01.009
表面工程

轴向磁场对电弧离子镀TiN薄膜组织结构及力学性能的影响

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Effects of Axial Magnetic Field on Microstructure and Mechanical Properties of TiN Films Deposited by Arc Ion Plating

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