稀土元素电子结构特殊，对合金表面有着优异的改良性能潜力。为充分发挥我国稀土资源优势，进一步扩大稀土化学热处理的应用以获得最佳的技术、经济效果，介绍了近30年来国内外单一、复合稀土化学热处理工艺的研究成果、特点及其应用现状，从化学热处理的基本过程入手，着重分析了稀土及其化合物在化学热处理中的催渗、促渗作用机理，及其改善金属表面物化、力学性能的实用效果，重点指出了新型稀土催渗剂的开发方向以及稀土化学热处理未来发展的趋势。