对几种薄膜硬度测试方法的评定

中国表面工程 ›› 2002, Vol. 15 ›› Issue (3) : 20-23.

对几种薄膜硬度测试方法的评定

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Evaluation of several measurements in film hardness

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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