MEVVA源金属离子注入和金属等离子体浸没注入

中国表面工程 ›› 2000, Vol. 13 ›› Issue (3) : 8-12.

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MEVVA Ion Implantation and Metal Plasma Immersion Ion Implantation

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ISSN 1007-9289　CN 11-3905/TG
主管：中国科学技术协会
主办：中国机械工程学会
编辑出版：《中国表面工程》编辑部

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