N含量对多组元ZrNbMoTaW薄膜结构和力学性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20250103002

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (2) : 80-89. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20250103002

特邀专栏：PVD 硬质涂层关键技术

N含量对多组元ZrNbMoTaW薄膜结构和力学性能的影响

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Effect of N Content on the Structure and Mechanical Properties of Multicomponent ZrNbMoTaW Thin Films

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2025-01-03	2025-02-18	2025-02-28	2025-04-23
发布日期
2025-06-26

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