工作气压对管内HiPIMS等离子体输运行为和Cr涂层性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20241226001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (2) : 27-35. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20241226001

特邀专栏：PVD 硬质涂层关键技术

工作气压对管内HiPIMS等离子体输运行为和Cr涂层性能的影响

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Effect of Working Pressure on the Performance of HiPIMS Plasma Transport and Cr Coating in the Tube

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-12-26	2025-02-26	2025-02-28	2025-04-23
发布日期
2025-06-26

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