电弧离子镀AlTiVCrMoSi高熵合金薄膜的制备工艺

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20241031003

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (2) : 69-79. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20241031003

特邀专栏：PVD 硬质涂层关键技术

电弧离子镀AlTiVCrMoSi高熵合金薄膜的制备工艺

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Preparation Process of AlTiVCrMoSi High-entropy Alloy Films by Arc Ion Plating

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2024-10-31	2024-11-27	2025-02-11	2025-04-23
发布日期
2025-06-26

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