同步脉冲偏压对HiPIMS制备DLC薄膜结构和性能的影响

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20231126001

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中国表面工程 ›› 2025, Vol. 38 ›› Issue (2) : 233-244. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20231126001

综述

同步脉冲偏压对HiPIMS制备DLC薄膜结构和性能的影响

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Effect of Synchronous Pulsed-bias on Structure and Mechanical Properties of DLC Films by HiPIMS Technique

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收稿日期	修回日期	接受日期	出版日期
2023-11-26	2023-12-25	2023-12-27	2025-04-23
发布日期
2025-06-26

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