等离子体增强磁控溅射TiN涂层与铝对摩时的摩擦磨损行为<sup>∗</sup>

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20221231001

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中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (6) : 68-78. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20221231001

研究论文

等离子体增强磁控溅射TiN涂层与铝对摩时的摩擦磨损行为^∗

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Tribological Behavior of TiN Coatings Deposited by Plasma-enhanced Magnetron Sputtering Against Aluminum

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收稿日期	修回日期	出版日期
2022-12-31	2023-07-28	2023-12-20
发布日期
2023-12-20

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