脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律<sup>*</sup>

doi:10.11933/j.issn.1007-9289.20221230001

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中国表面工程 ›› 2023, Vol. 36 ›› Issue (6) : 57-67. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20221230001

研究论文

脉冲偏压占空比对TiCrN薄膜微观结构和性能的影响规律^*

{{article.zuoZhe_CN}}

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Effects of Pulsed Bias Duty Cycle on the Microstructure and Properties of TiCrN Films

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{{article.zuoZheCn_L}}. {{article.title_cn}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_CN}}, 2023, 36(6): 57-67 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20221230001

{{article.zuoZheEn_L}}. {{article.title_en}}[J]. {{journal.qiKanMingCheng_EN}}, 2023, 36(6): 57-67 https://doi.org/10.11933/j.issn.1007-9289.20221230001

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收稿日期	修回日期	出版日期
2022-12-30	2023-11-02	2023-12-20
发布日期
2023-12-20

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