微米压痕测量TiAlN薄膜断裂韧性的数字孪生方法

蒋智韬，高剑英，雷明凯

中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 172-183.

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中国表面工程 ›› 2022, Vol. 35 ›› Issue (5) : 172-183. DOI: 10.11933/j.issn.1007-9289.20220601001

微米压痕测量TiAlN薄膜断裂韧性的数字孪生方法

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Measurement of Fracture Toughness of TiAlN Thin Film by Micro Indentation Based on Digital Twin

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